過去の実績一覧
同等品のご提案のほか、用途に応じた御社専用ランプの開発も致します。
産業用特殊ランプ
メタルハライドランプ・中圧UVランプ
■ロングアークタイプ
特徴
紫外線に反応する接着剤・レジスト・フィルム・インクなどを短時間で処理できます。
用途例
液晶パネルの貼り合わせ、プリント基板の露光、FPD基板の洗浄、フォトマスク・ウエハの洗浄、UVキュア、光配向、レジストの剥離電子部品・レンズの接着、紫外線殺菌、フィルム・シール・プラスチックの印刷・加飾、家具・パネルの塗装など
■ショートアークタイプ
特徴
ミラー一体型でランプ交換時の調整が不要です。
用途例
AOI（光学自動検査装置）、ガラス基板露光、カラーフィルター露光、ダイレクトイメージ露光、周辺露光、ID露光、表面欠陥検査などの光源用
ハロゲンランプ
特徴
非接触でクリーンな加熱、高速昇降温が可能です。
用途例
純水・薬液の加熱、半導体プロセス用（CVD、PVD、Etch、RTP、EPIなど）、ペットボトルのブロー成形、プリフォーム成形、塗料の乾燥、ガラス基板の焼成炉、乾燥炉、顕微鏡・ライトガイド・検査機用照明光源
キセノンフラッシュランプ
特徴
一瞬の閃光が大光量・高エネルギーを発します。
用途例
フラッシュアニール、紫外線硬化、殺菌、ソーラーシュミレーター、検査用、航空機・航空障害灯など
低圧水銀ランプ
特徴
184.9nm（オゾン線）、253.7（殺菌線） nmの紫外線効率よく発します。
用途例
基材の表面改質、殺菌、UV硬化、光CVD、光洗浄、傷検査、純水など
ショートアークランプ
特徴
点光源で利用効率の高いランプです。
明るさの変化が少ない高アーク安定タイプも取り揃えています。
用途例
回路形成、ウエハ周辺露光、液晶周辺露光、UV接着、検査用光源、顕微鏡光源、ファイバー光源、紫外線照射機、キセノン光源など
UV LED
特徴
長寿命、低消費電力
用途例
ランプ代替光源、専用光源など
同等品のご提案のほか、用途に応じた御社専用ランプの開発も致します。
光学関連
露光装置光学系メンテナンス
劣化した部品は新品と交換が必要だと思われていませんでしょうか︖
メンテナンスで回復することもあるのです。
メンテナンスを⾏うことで、設備導入時からの経年劣化による照度低下の改善効果が期待出来ます。
（ ※ 劣化の程度によってメンテナンスの効果には差があります。）
光学部品
メンテナンスでも回復出来ない場合があります。かと⾔って、装置メーカーの⾒積りは非常に⾼額 ・・・
独自の調達ルートによる集光ミラー ・平面ミラー ・レンズ ・光学フィルターなどをご提案致します。
ライトガイド
半導体周辺露光、液晶周辺露光、AOI検査などのバンドルファイバーの同等品を製作します。
多分岐タイプ、ラインタイプなど形状はリクエストにお応えします。
クリーンプロセス用フィルター
各種薬液 ・レジスト ・純水用やクリーンルーム用エアフィルターの互換品でコストダウンにご協⼒致します。
レアメタルパーツの加工
イオン注入装置用フィラメントやクランプ、CVD装置用シャワーヘッドなどの同等品をご提案します。
レアメタル、非鉄⾦属の加工はお任せください。
石英ガラス加工
試作から量産まで、ご希望の形状に加工します。
曲げ、接続、研削など様々な加工が可能です。